í einni stöðvunarþjónustu
Newtek Gas sýnir framúrskarandi PSA (þrýstingsveifla aðsog) súrefnisframleiðslukerfi sem er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðara framleiðsluumhverfi. Þessi mát lausn skilar 99,5% mjög háum hreinleika súrefni með rennslishraða á bilinu 5-3000 nm³/klst., Með greindri samþættingargetu til aðgerða í hreinsiherbergi.
Kjarna tæknilegir kostir
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% O₂ hreinleiki
± 0.
0. 1μm fjölþrepa síun (HEPA+ULPA) tryggir ISO flokk 3 samræmi
- 30% minni orkunotkun en hefðbundin kerfi
- Hitakerfi dregur úr hitauppstreymi í Fab umhverfi
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Stærð skal rennilás hönnunar styður 20% -200% Stækkun getu
Loftsamþjöppunareining (olíulaus skrun tækni)
Hreinsunarturn (Sjálfvirk TSA raka fjarlæging)
Smart Control skápur (PLC+HMI með Secs/Gem -samskiptareglum)
Hálfleiðara ferli forrit
✔ Varma oxun
Nákvæmni o₂ framboð fyrir vaxtargat (2-200 Å þykktarstýring)
✔ þurr etsing
Stöðugt gasframboð í plasma fyrir nanóskala
✔ CVD hólfshreinsun
Ofurþurrkur súrefni til að koma í veg fyrir mengun agna
✔ Wafer annealing
Háhæga andrúmsloftsstjórnun fyrir dópandi virkjun
Snjallt eftirlitskerfi
Rauntíma óhreinindieftirlit (uppgötvun á bls.
Forspárviðhald með AI reiknirit (98% nákvæmni)
Fjarstýringar í gegnum IIOT vettvang (OPC UA/MTConnect)
Semi F 5-0202 Cleanroom Gas Standards
CE/UL/ETL rafmagnsöryggisvottun
ISO 14644-1 Class 3 Cleanroom eindrægni
Við veitum
▲ Alþjóðlegt Tæknilegt Net:24/7 fjöltyngdur stuðningur með<4hr response time
▲ Líftími Hagræðing Forrit:Árleg skilvirkniúttekt og sameindasigtarþjónusta (1- árs ábyrgð)
▲Sérsniðnar lausnir:Sérsniðin samþætting við AMHS/MMC kerfi
og hönnun á bata kerfisins
Hafðu samband við hálfleiðara gas sérfræðinga okkar
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
maq per Qat: Súrefnisrafall fyrir hálfleiðara, Kína súrefnisrafstöð fyrir hálfleiðara framleiðendur, birgjar
